Consortium pour améliorer le cyber

Jun 14, 2023

Récemment, le projet NWO KIC 'REGENERATE' a démarré. Dans le cadre de ce partenariat public-privé (PPP), des institutions du savoir et des partenaires industriels travaillent sur des systèmes de mouvement de haute technologie fiables, comme des machines de lithographie pour fabriquer des puces informatiques.

Le 31 mai 2023, a eu lieu la réunion de lancement du projet NWO KIC 'REGENERATE'. Jannis Teunissen du groupe de recherche Multiscale Dynamics du CWI était l'un des co-candidats. Dans le cadre de ce partenariat public-privé, des institutions du savoir et des partenaires industriels travaillent sur des systèmes de mouvement de haute technologie fiables, par exemple des machines de lithographie utilisées pour la production de puces informatiques. Au CWI, un doctorant débutera dans ce programme début 2024.

Jannis Teunisse : "Ce projet est passionnant pour plusieurs raisons : il y aura de nombreuses nouvelles collaborations, il y a un potentiel d'impact direct sur l'industrie et c'est l'occasion d'en savoir plus sur la relation entre les décharges électriques (indésirables) et la dégradation des matériaux". Les co-demandeurs de REGENERATE sont l'Université de technologie d'Eindhoven (chef de projet), le CWI et l'Université de technologie de Delft. Les co-fondateurs sont ASML et Tecnotion.

Le nom du programme 'REGENERATE' signifie 'Reliable Next Generation Actuation Systems'. Les actionneurs électromagnétiques dits linéaires sont utilisés dans les systèmes de mouvement de haute technologie. Ils peuvent, par exemple, permettre le positionnement de wafers dans des machines de lithographie avec une précision nanométrique. Les exigences croissantes d'accélération et de précision entraînent des contraintes mécaniques, électromagnétiques et thermiques plus élevées et des défaillances irrécupérables. La fiabilité est donc devenue une préoccupation majeure. Cependant, les mécanismes de défaillance sont actuellement mal connus. Dans ce projet multidisciplinaire, les chercheurs étudieront les principaux mécanismes de défaillance, en utilisant des modèles théoriques combinés à des mesures expérimentales. Les résultats sont utilisés pour améliorer les futurs systèmes d'actionneurs linéaires et la fiabilité chez les partenaires ASML et Tecnotion.

Photo de groupe : réunion de lancement de REGENERATE le 31 mai 2023. Jannis Teunissen (CWI) deuxième à partir de la droite ; chef de projet Prof. Elena Lomonova (TU/e) 6e à partir de la droite.

Photo d'en-tête : salle blanche avec machines à wafers pour la production de puces (source : Shutterstock).

Source : https://www.nwo.nl/en/news/two-ppp-consortia-will-kick-improving-cyber-physical-systems.